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IPH半导体中度严苛系列

用途:

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特点:


IPH系列螺杆真空泵能够在普遍的应用领域提供优良的性能,,,,,适用于严苛制程。。

它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。

申博官网奇异型线设计,,,,,上海,,,,,台湾,,,,,制造。。

较之前的版本节能25%,,,,,设置有省电模式。。

带有加热系统阻止制程物沉积。。

优化的尺寸,,,,,即插即用。。


规格型号
产品样本和手艺手册

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产品样本和手艺手册

产品外观图

名称

宣布时间

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